Schichten schreiben Geschichte: Die Schlüsselfunktion der Materialherstellung in der Halbleitertechnologie
Bisher fokussierte die historiographische Aufarbeitung der Halbleitertechnologie auf die Anwendungen als mikro- und optoelektronische Bauelemente. Dabei geriet die zentrale Rolle der Materialherstellung aus dem Blick, die zum Taktgeber technischen Fortschritts…