Das Gesamtziel des Projektes ist es, neuere Entwicklungen auf den Gebieten der Materialforschung, Dünnschichttechnologie und der Mikromechanik zu einer völlig neuen, bahnbrechenden Lösung auf dem Gebiet der pyroelektrischen Sensoren zu kombinieren. Dotiertes Hafniumoxid soll als pyroelektrische Dünnschicht mit aus der Halbleiter-Technologie bekannten Verfahrenabgeschieden und strukturiert werden. Dadurch bietet sich die Möglichkeit, dass aus dem „exotischen“ pyroelektrischen Sensor ein Bauelement wird, dessen wichtigste Komponente in hoher Stückzahl wie ein normaler Schaltkreis in einer Halbleiterfabrik hergestellt werden kann.
Quelle: Pyroelektrischer, hafniumoxid-basierter digitaler Sensor